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白光干涉三维轮廓仪

创新性地整合白光干涉技术,自主研发的运算软件可以对整个测量过程进行监测与控制。其核心算法具备高效、稳定、精度高等特点。

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  • 配置
  • 技术特点
创新性地整合白光干涉技术,自主研发的运算软件可以对整个测量过程进行监测与控制。其核心算法具备高效、稳定、精度高等特点。



·非接触三维表面轮廓测量;
·噪音小,测量重复性好;
·纳米级分辨率:Z轴分辨率最高可达0.1nm;
·测量的点云数多:一个面最多可以达到500万个点,点间距小,XY分辨率高;
·多种视野范围可供选择,快速切换物镜变换视野;
·测量速度快,可实现在线测量;
·可以测量更大倾斜角的产品,漫反射面可测接近90度的斜面;
·软件包MountainsMap,可用于复杂的测量任务,如粗糙度,表面结构,微观几何形状和轮廓;
·自动化解决方案有多种选择:可使用SDK, 1/0模块和几种工业总线等解决方案。
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