借助其独特的压电驱动技术、刚性机械设计以及交叉滚子轴承的应用,环境和真空纳米定位器能够在纳米尺度上移动和放置高达数公斤的负载。
工作原理
多功能几何测量仪(LPT系列)选配功能● 自动标准片精度校正●MES系···...
非接触式手动台阶仪(D-Metric系列)选配功能● 自动标准片精度校···...
多功能几何测量仪(M-Metric系列)选配功能● 自动标准片精度校正···...
对射厚度测量仪 (T-Metric系列)选配功能● 自动标准片精度校正···...