白光干涉仪

发布日期:2022-09-22    浏览次数:129

白光干涉仪

       白光干涉测量专用于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸,其测量精度可以达到纳米级!目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。

 

技术特点

 

白光干涉作为一种广泛应用的三维表面形貌测量技术,其纵向分辨率可达到亚纳米级别。

视场内信息采集与数据处理同时进行,大面积区域的高度信息采集时间短。

多用于科学研究与质量管理领域,典型应用包括不同表面粗糙度样品的三维表面形貌测量(如晶片结构、镜面、玻璃与金属)、台阶高度测定和曲面精度测量(如微型透镜)。

Smart系列白光干涉三维轮廓仪创新性地整合白光干涉技术,自主研发的SmartWLI 软件可以对整个测量过程进行监测与控制。

其核心算法基于长期研发与测量经验,具备高效、稳定、精度高等特点。

SmartWLI软件,用于形貌测量及通过直接接口输出三维数据进入MountainsMap图片形貌图片处理软件,包括文件编制MountainsMap图片形貌软件,用于图片处理,数据分析与生成报告。

 

广泛的运用领域:


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白光干涉优势特点:

 

1, 非接触测量 :      非接触三维表面轮廓测量。

2, 重复性好:           噪音小,测量重复性好。

3, 纳米级分辨率:    Z轴分辨率最高可达0.1nm

4, 点云数量多:       测量的点云数多:一个面最多可以达到500万个点。

5, XY分辨率小:      点间距小,XY分辨率高,大范围内可高精度测量。

6, 视野范围大:       多种视野范围可供选择,快速切换物镜变换视野。

7, 测量速度快:       采集速度、处理和输出数据速度快。

8, 可在线测量 :          测量速度快,可实现在线高速检测。

9, 角度特性好:       超越传统角度极限,可以测量更大倾斜角的产品,漫反射面可测接近90度的斜面。

10,件功能强大:    软件包MountainsMap强大的分析软件功能可用于复杂的测量任务,如粗糙度,表面结构,微观几何形状和轮廓。 自动化有多种选择:可使用SDK,I/O模块和几条工业产线解决方案。




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