压电平台-直线

发布日期:2021-12-21    浏览次数:558

压电平台-直线

技术特点:

 最大负荷∶24kg

 最大量程∶50mm

 轨迹∶从30x30m㎡开始 


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环境和真空纳米定位器

用于大气和真空条件的压电纳米驱动器

纳米定位器包含压电电机,以实现纳米级精度的运动,并且可根据客户的应用提供各种不同的主体材料、尺寸和选项。

对于我们基于轴承的 EC* 系列定位器,重量轻且强度高的铝材用于大气应用,而不锈钢外壳可与高达 UHV 的真空条件兼容。AN* 系列适用于特殊要求,例如有限空间或非磁性要求,因此由钛或铍铜制成。 

产品查找器通过根据对您重要的规格对整个产品组合进行分类,消除了为您的设置查找纳米定位器的麻烦。

烦。

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高负载

借助其独特的压电驱动技术、刚性机械设计以及交叉滚子轴承的应用,环境和真空纳米定位器能够在纳米尺度上移动和放置高达数公斤的负载。

闭环控制

结合三轴驱动电子设备 AMC100,环境和真空纳米定位器能够实现 1 nm (1 μ°) 的闭环定位分辨率,同时提供高达 4.5 mm/s (10°/s) 的行进速度。50 nm (50 μ°) 的位置可重复性超出了这些纳米定位器的规格。

真空兼容性

环境和真空纳米定位器专用于在室温和从超高真空到环境的压力范围内运行。所有平台均采用阳极氧化铝或不锈钢制成,可满足光学和 UHV 应用。

材料和预期寿命

对于环境和真空纳米定位器,特别强调使用寿命和成本效益制造。室温优化的驱动机构,结合铝或不锈钢作为主体材料的选择,可显着降低成本,同时实现约 500,000 次循环的使用寿命。

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