激光干涉仪和白光干涉仪工作原理?

发布日期:2022-04-20    浏览次数:169

  客户经常打电话咨询干涉仪,看到中间仪器有激光干涉仪和白光干涉仪,不知道哪一个能满足自己的需求?虽然激光干涉仪和白光干涉仪都属于干涉仪的类别,但两者之间的区别可能很大!

激光干涉仪的工作原理

  迈克尔逊干涉原理用于测量激光干涉仪:

  (1) 从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束(圆偏振光)分为两束激光(线偏振光);

  (2) 两束激光分别通过角锥反射镜A和角锥反射镜B由于两束激光频率相同,振动方向相同,相位差恒定,反射后平行于出射光(红线)返回,分光镜后叠加。

  (3) 角锥反射镜B激光波长的距离每移动一半,就会产生完整的明暗干扰。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。

  根据激光干涉仪的原理,我们可以清楚地知道设备的运动精度,SJ6000目前,激光干涉仪广泛应用于机床、直线电机、滑台、模块、自动化设备、机器人等领域。

白光干涉仪的工作原理

  白光干涉仪以白光干涉技术为原理,光源发出的光通过分光棱镜分为两束,一束通过测量表面反射,另一束通过参考镜反射,两束反射光最终聚集干扰,显微镜将测量表面的形状特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面的三维形状。

  用白光干涉仪测量三维微观形状。SuperView W1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造和封装工艺检测3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS设备等超精密加工行业和航空航天、国防军工、科研机构等领域。可测量各种物体表面从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率,从纳米到微米工件的粗糙度、平整度、微几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/A ** E/EUR/G国内外四大标准共300多项2D、3D以参数为评价标准。

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