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快速非接触厚度测量设备

发布日期：2024-04-10 　浏览次数：2084

➤ 厚度测量设备

提供薄片厚度测量解决方案

设备采用平面气浮轴承技术.png

➤ 快速非接触厚度测量

◆ 使用高精度直线电机运动机构

◆ 搭配各种位移传感器对射测量

◆ 最大扫描速度600mm/s

◆ 测量精度0.5um

◆ 可实现自动化需求测量

晶圆测厚对射式.png

广泛用在晶圆、陶瓷片、金属片、玻璃等薄片厚度测量用于后厚度、翘曲度、平面度，高度差等测量。

厚度测量设备广泛用在晶圆、陶瓷片、金属片、玻璃等.png

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