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非接触式晶圆厚度测量系统

气浮轴承是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度极佳的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。

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  • 配置
  • 技术特点
•对射式非接触式同轴激光位移传感器测量;
•直线电机高精度龙门运动机构;
•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量;
•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性;
•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm 12英寸产品);
•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm;
•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架;
•最大扫描速度1m/s;
•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式;
•直观简单的2D或3D数据呈现方式;
•适用于厚度, TTV, LTV, TIR, Sori, Taper, Bow和Warp测量参数及标准。
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