021-68680803 0769-82386227
首页 >> 产品中心 >> 在线白光干涉传感器 >> 在线白光干涉传感器

在线白光干涉传感器

白光干涉测量专用于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸,其测量精度可以达到纳米级! 目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。

资料下载 立即询价
  • 配置
  • 技术特点


配置参数




白光干涉,作为一种广泛应用的三维表面形貌测量技术,其纵向分辨率可达到亚纳米级别。

视场内信息采集与数据处理同时进行,大面积区域的高度信息采集时间短。

多用于科学研究与质量管理领域,典型应用包括不同表面粗糙度样品的三维表面形貌测量(如晶片结构、镜面、玻璃与金属)、台阶高度测定和曲面精度测量(如微型透镜)。

SmartWLI系列白光干涉三维轮廓仪创新性地整合白光干涉技术,自主研发的SmartWLI 软件可以对整个测量过程进行监测与控制。

其核心算法基于长期研发与测量经验,具备高效、稳定、精度高等特点。

 

结构:

LED光源(软件控制)

压电马达,用于垂直方向物镜移动,范围400μm

控制盒

CCD摄像头(1624 x 1234 像素)GigE接口

PC机或笔记本电脑 Win7系统,NVIDIA GPU 用于超快数据处理,液晶显示器,键盘,鼠标

SmartWLI软件,用于形貌测量及通过直接接口输出三维数据进入MountainsMap图片形貌图片处理软件,包括文件编制MountainsMap图片形貌软件,用于图片处理,数据分析与生成报告。


白光干涉测量原理特点:




1. 干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是,被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。

2. 产生干涉情况下,波长与可测量的深度数据相对应。

3. 在白光干涉中,干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同,根据光的波动性与同调性,所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同,各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息。


白光干涉优势特点: 

  • 非接触三维表面轮廓测量。
  • 噪音小,测量重复性好。
  • 纳米级分辨率:Z轴分辨率最高可达0.1nm
  • 测量的点云数多:一个面最多可以达到500万个点,
  • 点间距小,XY分辨率高。
  • 多种视野范围可供选择,快速切换物镜变换视野。
  • 测量速度快,可实现在线测量。
  • 可以测量更大倾斜角的产品,漫反射面可测接近90度的斜面。
  • 软件包MountainsMap可用于复杂的测量任务,如粗糙度,表面结构,微观几何形状和轮廓。 自动化有多种选择:可使用SDKI/O模块和几条工业产线解决方案。


 


×

在线询价

爱的朋友,欢迎你来到上海岱珂机电设备有限公司网站。我们将尽快解答您的疑问!若您有详细产品的需求,
请仔细填写,我们会尽快与您取得联系!

立即提交留言